器件制备及器件物理 | 大面积高功率940nm光子晶体面发射激光器
器件制备及器件物理 | 大面积高功率940nm光子晶体面发射激光器
摘要:光子晶体面发射激光器(PCSEL)可以利用带边谐振效应实现大面积相干振荡,是一种能实现高亮度单模激射的新型半导体激光器。这使得PCSEL在激光雷达与3D传感等领域具有很好的应用前景。本文设计了一种正方单晶格非对称锥形空气孔结构的PCSEL,通过增加光子晶体占空比提高基模与高阶模之间的阈值差异,实现大模式面积下高功率单模激光输出。实验表明,研制的 9 4 0 n m PCSEL在 1 0 μ s 脉冲泵浦下输出功率达到5.1W,斜率效率达到 0 . 4 3 W / A ,其远场光斑呈现出
发散角的单瓣分布,并具有 8 0 % 偏振度的线偏振特性;进一步地,在 5 n s 脉冲条件下,其输出功率高达 3 5 W 。该器件的研发可为激光雷达系统提供良好的光源。