关键词：直流磁控溅射; VO₂ ；金属-绝缘体相变；近红外光；光电探测器中图分类号：0482.31；0472.3 文献标识码：ADOI：10.37188/CJL.20250148 CSTR：32170.14.CJL.20250148

Abstract：Vanadium dioxide （VO₂）. a s（试读）...