摘要：针对在“SE+PERC”晶体硅太阳电池制备过程中，采用管式等离子体增强化学气相沉积（PECVD）工艺沉积正面钝化介质膜后，硅片正面会出现角部发红色差，即镀膜均匀性异常的问题，通过实验，对硅片厚度、工器具状态（试读）...
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