摘 要：针对采用原子层沉积（ALD）工艺制备的Al2O3薄膜对TOPCon太阳电池电性能的影响进行了研究。研究结果显示：1）空间型沉积方式下制备得到的Al2O3薄膜厚度为9 nm时与时间型沉积方式下制备得到的Al2O3薄膜厚度为5 （试读）...
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