中图分类号：TH113.1 DOI：10.16579/j.issn.1001.9669.2026.01.011

0 引言

随着硅微加工技术的提高，微机电系统得到了快速的发展。而微膜是微机电系统的重要组成构件之一，广泛地应用于各种微传感器、微泵、微换能器（试读）...